【双创大赛】优秀项目展播：溅射薄膜压力传感器项目

首届西安交通大学全球校友创新创业大赛自2019年4月启动以来，已组织18场次各类活动，聘任了100余位科学家、企业家、投资家等各界杰出人士作为大赛专家委员，大赛总计吸引了100家媒体进行了宣传报道，影响人群超过30万，得到了校友群体、校友组织和社会各界的广泛好评，产生了良好的社会影响力。

鉴于目前疫情影响，经组委会研究决定，原定于今年校庆期间的总决赛将延期举办，具体时间组委会将另行通知。

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第二十七期展播长三角赛区三等奖项目

溅射薄膜压力传感器项目

校友信息：白煜，项目创始人，西安交通大学1998级材料科学与工程专业

所属行业：先进制造

主要产品服务：

溅射薄膜压力传感器非常适合用于高精度、大量程及高稳定性的高温压力测试环境，特别适合于汽车工业、飞机发动机、石油化工、机械设备、高端制造等领域的高温压力测试。

本项目产品的市场定位为替代进口传感器，以较低于进口产品的价格，向国内客户提供性能、质量、可靠性达到或超过进口产品的自主开发产品。在市场选取上，先考虑液压工具、流程工业设备、军工设备等批量较小、定制程度高的市场领域。在公司具有一定规模后，再考虑进入汽车传感器等行业壁垒高的领域。

核心技术及优势：压力敏感薄膜材料在弹性体芯头上的生长技术，包括新型更高性能压敏薄膜材料开发及磁控溅射生长工艺的突破，高性能压敏薄膜材料与不锈钢芯头表面结合力的提升，薄膜材料压敏性能的优化等。

项目介绍

本项目旨在通过对溅射薄膜压力传感器核心敏感材料和关键技术的创新，成为国内溅射薄膜压力传感器产品的领军者，打破欧美企业在高压压力传感器市场中的垄断。目标产品是高灵敏度、高精度、大量程及高稳定性的溅射薄膜压力传感器，在机械设备、航空航天、石油化工、汽车等领域有非常广泛的应用。

研究团队已在压力传感器领域开展 10 余年的研发，已经完成以上核心技术的开发，能够稳定制备出电阻温度系数（TCR）绝对值小于 100ppm/℃，应变因子不小于3.5 的高性能薄膜，达到了国际一流水平。微纳加工、封装试制等环节的关键工艺也都已经开发完成，已完成首批传感器样品的试制，传感器各项性能达到或接近了进口 产品水平。

项目产品目前瞄准液压设备和流程工业（化工、冶金）市场，后续会完善体系，开发汽车领域的市场，形成规模化效应。

团队介绍

白煜，项目负责人。本科毕业于西安交通大学、随后在新加坡国立大学获得硕士学位、麻省理工学院获得博士学位。长期从事微纳薄膜材料及器件研究，在新型压敏薄膜溅射工艺领域取得了突破。项目初期以产品研发及核心技术公关为主，依托所在单位已有科研平台将会大幅度降低项目投入，缩短产品研发周期。

赵立波，西安交通大学微纳传感器博士研究生毕业。长期从事微纳压力传感器相关研究，在压力传感器设计、加工制备、关键工艺优化、产业化生产等方面积累了非常丰富的经验和成果，已发表论文数十篇，拥有多项专利。在高温压力传感器领域先后获得国家技术发明二等奖等两项，具有深厚的理论和工程实践经验。

万飞，西安交通大学材料工程硕士研究生毕业。在项目中负责传感器产品研发，核心薄膜材料制备工艺优化， 传感器微纳加工工艺优化。

张敏，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所博士研究生。在项目中主要负责传感器设计，封装测试。在微纳传感器研究中，主要承担对溅射薄膜的电阻温度系数（TCR）、应变因子（GF）、电阻率、应变温度敏感度、高温循环稳定性等性能的测试进行研究，建立合理的性能测试标定技术和方法。

首届西安交通大学全球校友创新创业大赛由西安交通大学、西安交通大学校友会共同主办，根据各地校友聚集度与区域产业特性，设立华北赛区、长三角赛区、大湾区赛区、西部赛区、北美赛区等五个平行分赛区。大赛领域聚焦于大数据、人工智能、芯片、互联网+、健康医疗、新材料、先进制造、新能源、文化创意等新技术新产业。

通过全球校友创新创业大赛，将充分聚集校友创业人才、凝聚共同成长的校友力量，助力交大校友和学子的创新创业项目发展、壮大，从而实现校友、学校、社会的共赢发展。在创新创业领域，交大人也将承担起更多国家使命。

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